Pat
J-GLOBAL ID：201303057737831914

不純物濃度測定方法および不純物濃度測定装置

Inventor：
清井 明

About 清井 明

, 
中島 優

About 中島 優

, 
引地 敏彰

About 引地 敏彰


Applicant, Patent owner：
三菱電機株式会社

About 三菱電機株式会社


Agent (2)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012011823
Publication number (International publication number)：2013152977
Application date： Jan. 24, 2012
Publication date： Aug. 08, 2013
Summary：
【課題】本発明は、ウェハの厚さが薄い場合であっても、低濃度の不純物を含有しているウェハに対しても不純物濃度を正確に測定できる、不純物濃度測定方法を提供する。【解決手段】本発明に係る不純物濃度測定方法は、ウェハ8に対して電子線を照射した後に、当該ウェハに対してフォトルミネセンス法を実施する。これにより、ウェハ8を構成する元素に由来するフォトルミネセンスの強度である第一の強度と、不純物の元素に由来するフォトルミネセンスの強度である第二の強度とを、取得する。そして、第一の強度と、第二の強度と、予め用意されている検量線とを用いて、ウェハ8における不純物の濃度を測定する。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
ウェハに含まれる不純物の濃度を測定する不純物濃度測定方法であって、 (A)前記ウェハに対して、電子線を照射する工程と、 (B)前記工程(A)の後に、前記ウェハに対してフォトルミネセンス法を実施することにより、前記ウェハを構成する元素に由来するフォトルミネセンスの強度である第一の強度と、前記不純物の元素に由来するフォトルミネセンスの強度である第二の強度とを、取得する工程と、 (C)前記第一の強度と、前記第二の強度と、予め用意されている検量線とを用いて、前記ウェハにおける前記不純物の濃度を測定する工程とを、備える、 ことを特徴とする不純物濃度測定方法。
IPC (3)：
H01L 21/66 ,  G01N 21/64 ,  G01N 21/00
FI (3)：
H01L21/66 N ,  G01N21/64 Z ,  G01N21/00 B
F-Term (37)：
2G043AA01 ,  2G043BA07 ,  2G043CA07 ,  2G043DA05 ,  2G043DA08 ,  2G043DA09 ,  2G043EA01 ,  2G043FA06 ,  2G043FA07 ,  2G043JA01 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043KA09 ,  2G043NA01 ,  2G043NA11 ,  2G059AA01 ,  2G059BB16 ,  2G059CC02 ,  2G059DD18 ,  2G059EE07 ,  2G059EE11 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM12 ,  4M106AA01 ,  4M106AA10 ,  4M106BA02 ,  4M106BA05 ,  4M106CA18 ,  4M106CB02 ,  4M106DH45 ,  4M106DJ18
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM