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J-GLOBAL ID：201303059372922632

散乱波計算システム

Inventor： 杉坂 純一郎 ,  谷田貝 豊彦
Applicant, Patent owner： 国立大学法人宇都宮大学
Agent (2)： 山田 毅彦 ,  田中 正平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012014403
Publication number (International publication number)：2013156030
Application date： Jan. 26, 2012
Publication date： Aug. 15, 2013
Summary：

【課題】多種多様な構造を有する誘電体からの散乱波によって形成される電磁界を、より少ないデータ処理量で高精度に計算することである。【解決手段】散乱波計算システムは、構造特定部及び電磁界計算部を有する。構造特定部は、電磁波を入射させた場合に生じる散乱波によって形成される電磁界の計算対象となる誘電体の領域を、基準領域と、それぞれ前記誘電体の一部又は空間で構成され、かつ互いに交差しない複数の有限領域とを合成した領域として表す。電磁界計算部は、前記基準領域に前記複数の有限領域を複数回に分けて順次追加し、追加された各有限領域によってそれぞれ生じる電磁界を前記基準領域によって形成される電磁界に順次加算する計算によって前記誘電体に前記電磁波を入射させた場合に生じる散乱波によって形成される電磁界を求める。【選択図】 図4

Claim (excerpt)：

電磁波を入射させた場合に生じる散乱波によって形成される電磁界の計算対象となる誘電体の領域を、基準領域と、それぞれ前記誘電体の一部又は空間で構成され、かつ互いに交差しない複数の有限領域とを合成した領域として表す構造特定部と、 前記基準領域に前記複数の有限領域を複数回に分けて順次追加し、追加された各有限領域によってそれぞれ生じる電磁界を前記基準領域によって形成される電磁界に順次加算する計算によって前記誘電体に前記電磁波を入射させた場合に生じる散乱波によって形成される電磁界を求める電磁界計算部と、 を有する散乱波計算システム。

IPC (2)：

G01R 29/08 ,  G06F 17/50

FI (2)：

G01R29/08 Z ,  G06F17/50 612H

F-Term (1)：

5B046JA10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 情報処理装置及び情報処理方法並びにプログラム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-069485   Applicant：キヤノン株式会社
• 電磁場シミュレーション方法、電磁場シミュレーション装置、半導体装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2010-068450   Applicant：株式会社東芝
• 波動解析方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-162565   Applicant：富士通株式会社
• リソグラフィシミュレーション方法及びプログラム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-075481   Applicant：株式会社東芝