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J-GLOBAL ID：201303098110523546

特に多重チャンネルの周波数選択的測定のための光学的バンドパスフィルタシステム

Inventor： ユンガー,シュテファン ,  チェカレンスキー,ウラジーミル ,  ヴェーバー,ノルベルト
Applicant, Patent owner： フラウンホッファー-ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー.ファオ
Agent (1)： 特許業務法人三澤特許事務所
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2013518986
Publication number (International publication number)：2013539059
Application date： Jul. 11, 2011
Publication date： Oct. 17, 2013
Summary：

【課題】小さな周波数帯域幅を有する異なるフィルタを非常に小さいスペースに横方向に隣接配置することができ、かつ、半導体プロセス、特にCMOSプロセスにその製造を容易に統合することが可能な光学的フィルタシステムを提案する。【解決手段】この発明は、第1のナノ構造金属層(4)を含むバンドパスフィルタと第2のナノ構造金属層(7)を含むバンドストップフィルタとの組み合わせを少なくとも1つ有する光学的バンドパスフィルタシステムに関し、これらフィルタの一方が他方の裏側に配置され、互いの層厚が異なる。バンドストップフィルタは、バンドパスフィルタの透過帯域幅と部分的に重なる隣接する波長帯域を遮断するように、バンドパスフィルタに対して調整される。提案に係る光学的フィルタシステムによれば、小さなスペースに隣り合うように小さい透過帯域幅の様々なフィルタ特性を作成できる。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

第1の層厚を有する第1のナノ構造金属層(4)を含むバンドパスフィルタと、第2の層厚を有する第2のナノ構造金属層(7)を含むバンドストップフィルタとの組み合わせを少なくとも1つ有し、それらの一方が他方の上に配置され、前記バンドストップフィルタは、前記バンドパスフィルタの透過帯域幅と部分的に重なる隣接する波長帯域を遮断するように、前記バンドパスフィルタに対して調整されており、前記第1および第2の層厚が互いに異なることを特徴とする光学的フィルタシステム。

IPC (5)：

G02B 5/28 ,  G01J 3/36 ,  G01J 3/12 ,  G01J 3/51 ,  H01L 31/023

FI (5)：

G02B5/28 ,  G01J3/36 ,  G01J3/12 ,  G01J3/51 ,  H01L31/02 D

F-Term (10)：

2G020AA08 ,  2G020CC31 ,  2G020DA32 ,  2H148GA03 ,  2H148GA12 ,  2H148GA33 ,  2H148GA35 ,  5F088AA02 ,  5F088HA06 ,  5F088HA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 光学フィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-118978   Applicant：キヤノン株式会社
• 光学フィルタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2008-181500   Applicant：キヤノン株式会社
• 受光素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-135210   Applicant：凸版印刷株式会社
• 光学素子および固体撮像素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-004457   Applicant：ソニー株式会社