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J-GLOBAL ID：201402202181146897   Reference number：14A0716143

Rapid fabrication technique of nano/microfluidic device with high mechanical stability utilizing two-step soft lithography

二段階ソフトリソグラフィーを用いる高機械的安定性を有するナノ/マイクロフルイディクス装置の迅速製造法

Author (4)： MOGI Katsuo (Mechanical and Control Engineering, Tokyo Inst. of Technol., JPN) ,  SUGII Yasuhiko (School of Engineering, The Univ. of Tokyo, JPN) ,  YAMAMOTO Takatoki (Mechanical and Control Engineering, Tokyo Inst. of Technol., JPN) ,  FUJII Teruo (Inst. of Industrial Sci., The Univ. of Tokyo, JPN)
Material： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sens Actuators B Chem)
Volume： 201  Page： 407-412  Publication year： Oct. 01, 2014 
JST Material Number： T0967A  ISSN： 0925-4005  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *channel ,  fluidics ,  *lithography ,  *fine patterning ,  stability ,  rigid body ,  production method ,  mold and pattern ,  thermosetting plastic ,  epoxy resin ,  polydimethylsiloxane ,  duplicate ,  accuracy ,  aspect ratio ,  fluid device ,  process(production) ,  *micro channel ,  microfluidics
Semi thesaurus term： soft lithography ,  nanochannel ,  two-stage process ,  mechanical stability ,  high aspect ratio ,  high accuracy ,  production method

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： 段階 ,  ソフトリソグラフィー ,  機械的安定性 ,  マイクロフルイディクス ,  製造法