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J-GLOBAL ID：201402240571252441   Reference number：14A0170881

プラズマを用いた炭素材料合成の実際と産業利用における課題 2.DLC成膜プロセス研究の最前線

Author (1)： KOSAKA HIROYUKI (名古屋大 大学院工学研究科)
Material： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
Volume： 90  Issue： 1  Page： 76-83  Publication year： Jan. 25, 2014 
JST Material Number： G0114A  ISSN： 0918-7928  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,  diamond-like carbon ,  hardness ,  *plasma CVD ,  *physical vapor deposition ,  sputtered deposition ,  ion plating ,  slip(mechanics) ,  tribology ,  plasma production ,  plasma density ,  plasma ,  covering ,  surface coating
Semi thesaurus term： arc ion plating ,  sliding ,  microwave plasma ,  surface coating

JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Terms in the title (6)： プラズマ ,  炭素材料 ,  産業利用 ,  DLC ,  成膜プロセス ,  研究