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J-GLOBAL ID：201402243044243891   Reference number：14A0994014

Wire Electrical Discharge Slicing of Solar-Grade Silicon

太陽電池用多結晶シリコンのワイヤ放電スライス加工

Author (5)： SATO TATSUSHI (三菱電機) ,  MATSUNO SHIGERU (三菱電機) ,  ECHIZEN'YA DAISUKE (三菱電機) ,  MAEKAWA TAKEYUKI (三菱電機) ,  TOKURA HITOSHI (東京工大)
Material： 電気加工学会誌  (Journal of the Japan Society of Electrical Machining Engineers)
Volume： 48  Issue： 118  Page： 118-127  Publication year： Jul. 31, 2014 
JST Material Number： F0520B  ISSN： 0387-754X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *wire electrical discharge machining ,  slice ,  *wafer
Semi thesaurus term： *poly-crystalline silicon ,  *スライス加工 ,  放電スライス

JST classification (1)： Special machining  (QC04000Y)

Reference (18)：

• 福澤 康,谷 貴幸,岩根英二,毛利尚武:放電加工機を用いた絶縁性材料の加工,電気加工学会誌,Vol.29,No.60,(1996),pp.11-21.
• 谷 貴幸,福澤 康,古谷克司,毛利尚武:絶縁性セラミックスの放電加工プロセス,精密工学会誌,Vol.63,No.9,(1997),pp.1310-1314.
• 谷 貴幸,福澤 康,毛利尚武,齋藤長男:絶縁性SiAlONセラミックスの放電加工特性に及ぼす補助電極材料の影響,電気加工技術,Vol,30,No.65,(1996),pp.17-24.
• 申 泰民,山田 久,毛利尚武,古谷克司,福澤康,谷 貴幸:絶縁性セラミックスの放電加工における加工現象-コンデンサ放電の効果-,電気加工学会誌,Vol.32,No.70,(1998),pp.1-7.
• 谷 貴幸,福澤 康,川瀬卓也,古谷克司,毛利尚武,齋藤長男:ZrO₂セラミックスの放電加工特性,電気加工学会誌,Vol.32,No.71,(1998),pp.18-26.

Terms in the title (5)： 太陽電池 ,  多結晶シリコン ,  ワイヤ ,  放電 ,  スライス