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J-GLOBAL ID：201402253737349486   Reference number：14A1231792

Magnetically Driven MEMS Devices Using Photosensitive Magnetic Nanocomposite

磁気MEMSの開発現状 感光性磁気ナノコンポジットを用いた磁気駆動MEMSデバイス

Author (2)： SUZUKI TAKAAKI (香川大 工) ,  OHIRA FUMIKAZU (放送大 香川学習セ)
Material： まぐね  (Magnetics Japan)
Volume： 9  Issue： 5  Page： 217-222  Publication year： Oct. 01, 2014 
JST Material Number： L5842A  ISSN： 1880-7208  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *MEMS ,  permanent magnet ,  photoresist ,  photolithography ,  optical deflection ,  *reflecting mirror ,  pump ,  magnetic thin film ,  driving mechanism ,  micropump
Semi thesaurus term： *MEMS mirror ,  nano-composite magnet ,  photoresist

JST classification (2)： Magnetoelectric devices  (NC03100X) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (14)：

• N. Damean, B. A. Parviz, J. N. Lee, T. Odom, and G. M. Whitesides: Journal of Micromechanics and Microengineering, 15, 29 (2005).
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• S. Jiguet, A. Bertsch, M. Judelewicz, H. Hofmann, and P. Renaud, Microelectronic Engineering, 83,1966 (2006).
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• O. Solgaard, A. A. Godil, R. T. Howe, L. P. Lee, Y. A. Peter, and H. Zappe: Journal of Microelectromechanical Systems, 23, 517 (2014).

Terms in the title (8)： 磁気 ,  MEMS ,  開発 ,  現状 ,  感光性 ,  ナノコンポジット ,  磁気駆動 ,  MEMSデバイス