Pat
J-GLOBAL ID:201403017433560774
計測顕微鏡装置及び計測顕微鏡装置操作プログラム並びにコンピュータで読み取り可能な記録媒体
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
豊栖 康司
, 豊栖 康弘
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2012199075
Publication number (International publication number):2014055776
Application date: Sep. 11, 2012
Publication date: Mar. 27, 2014
Summary:
【課題】複数の測定光投光手段で測定画像を取得する際、測定が不良となる部分を少なくするように予め測定画像の取得条件の設定を行い易くする。【解決手段】第一測定光投光手段又は第二測定光投光手段で投光され、対象物Sで反射された測定光を取得して測定画像を撮像するための撮像手段100と、測定光投光手段110を用いて撮像された画像を表示させるための表示手段400と、同じ対象物Sに対して、第一測定光投光手段を用いて撮像手段100で取得された第一測定画像と、第二測定光投光手段を用いて撮像手段100で取得された第二測定画像とを合成し、一の合成測定画像を生成する測定画像合成手段211と、表示手段400上で画像を表示させた状態で、第一測定光投光手段及び第二測定光投光手段のいずれでも測定結果が異常となる測定異常領域を重ねて表示するハイライト手段212とを備える。【選択図】図1
Claim (excerpt):
対象物に対して斜め方向から測定光を所定のパターンの構造化照明として投光するための測定光投光手段として、
第一の方向から対象物に対して第一測定光を照射可能な第一測定光投光手段と、
前記第一の方向とは異なる第二の方向から対象物に対して第二測定光を照射可能な第二測定光投光手段と、
観察画像を撮像するための観察用照明光源と、
前記第一測定光投光手段又は第二測定光投光手段で投光され、対象物で反射された測定光を取得して測定画像を撮像し、また前記観察用照明光源を用いて観察画像を撮像するための撮像手段と、
前記測定画像又は観察画像を表示させるための表示手段と、
前記測定画像又は観察画像を前記表示手段上で表示させた状態で、前記第一測定光投光手段及び第二測定光投光手段のいずれでも測定結果が異常となる測定異常領域を重ねて表示するハイライト手段と
を備えることを特徴とする計測顕微鏡装置。
IPC (3):
G01B 11/25
, G01B 9/04
, G02B 21/06
FI (3):
G01B11/25 H
, G01B9/04
, G02B21/06
F-Term (50):
2F064MM05
, 2F064MM16
, 2F064MM24
, 2F064MM36
, 2F064MM41
, 2F064MM45
, 2F065AA04
, 2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065DD03
, 2F065DD05
, 2F065DD09
, 2F065DD11
, 2F065FF01
, 2F065FF02
, 2F065FF04
, 2F065FF09
, 2F065GG02
, 2F065GG07
, 2F065GG23
, 2F065GG24
, 2F065HH06
, 2F065HH12
, 2F065HH14
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL01
, 2F065LL53
, 2F065MM16
, 2F065NN02
, 2F065NN12
, 2F065NN17
, 2F065PP12
, 2F065PP13
, 2F065PP24
, 2F065QQ03
, 2F065QQ24
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2F065QQ42
, 2F065SS02
, 2F065SS13
, 2H052AC04
, 2H052AC09
, 2H052AC14
, 2H052AD20
, 2H052AF02
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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形状測定装置および形状測定方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-116282
Applicant:コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド
-
三次元形状を計測する方法および装置並びに三次元形状計測用プログラムを記憶した記憶媒体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-372683
Applicant:スズキ株式会社
-
3次元形状測定方法及びその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-018483
Applicant:オリンパス株式会社
-
撮像装置ならびにその動作制御方法およびそのプログラム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-148534
Applicant:富士フイルム株式会社
-
ワイヤボンディング検査方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-171266
Applicant:株式会社デンソー
-
形状認識方法及び装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-312033
Applicant:株式会社神戸製鋼所
-
凹凸形状認識装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-120849
Applicant:新日本製鐵株式会社
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