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J-GLOBAL ID：201403018013302792

極低温装置及びこれを用いた被冷却体の冷却方法

Inventor：
三木 孝史

About 三木 孝史


Applicant, Patent owner：
株式会社神戸製鋼所

About 株式会社神戸製鋼所


Agent (3)： 小谷 悦司 ,  小谷 昌崇 ,  村松 敏郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014002063
Publication number (International publication number)：2014157011
Application date： Jan. 09, 2014
Publication date： Aug. 28, 2014
Summary：
【課題】被冷却体への熱侵入を有効に抑止しながら、冷凍機のコールドヘッドを被冷却体に対して高効率で熱伝達可能となるように着脱可能に連結する。【解決手段】極低温装置は、被冷却体容器16と、筒部32及び底部34を有するコールドヘッド挿入部18と、コールドヘッド26の低温端28と前記底部34との間に熱伝導可能な熱連結部を形成するための熱連結形成部60と、前記底部34と被冷却体12との間に設けられる熱スイッチ70と、備える。熱連結形成部60は、冷凍機側凹凸部61,62と、これに隙間66をおいて対向する挿入部側凹凸部63,64と、を有し、前記隙間66内でガス状の熱伝導媒体が凝固することにより熱連結部が形成される。熱スイッチ70は、前記底部34に設けられる挿入部側熱スイッチ要素と、被冷却体側熱スイッチ要素と、を有し、両スイッチ要素の接離により熱伝導の許容と遮断が切換えられる。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
コールドヘッドを有する冷凍機により被冷却体を冷却するための極低温装置であって、 外壁を有してその内側に前記被冷却体を収容する被冷却体容器と、 前記外壁から前記被冷却体に向かって延び、前記コールドヘッドがその低温端側から挿入されるのを許容するように前記外壁の外側に開口する筒状をなす筒部とこの筒部の奥側端部を塞ぐように当該筒部につながる底部とを有し、そのコールドヘッドの挿入によって内部が密閉される形状を有するコールドヘッド挿入部と、 前記コールドヘッドの低温端と前記コールドヘッド挿入部の底部との間に熱伝導可能な熱連結部を形成するための熱連結形成部と、 前記コールドヘッド挿入部の底部と前記被冷却体との間に設けられる熱スイッチと、備え、 前記熱連結形成部は、前記コールドヘッドの低温端に設けられて当該コールドヘッドの挿入方向と平行な方向に起伏する冷凍機側凹凸部と、前記コールドヘッド挿入部の底部のうち前記コールドヘッドの低温端側を向く面に設けられて前記冷凍機側凹凸部と隙間をおいて対向可能となるように当該コールドヘッドの挿入方向と平行な方向に起伏する挿入部側凹凸部と、を有し、両凹凸部は、これら同士の隙間内でガス状の熱伝導媒体が前記コールドヘッドの低温端の運転温度下で凝固することにより前記熱連結部を形成する形状を有し、 前記熱スイッチは、前記底部のうち前記被冷却体側を向く面である被冷却体側面に設けられる挿入部側熱スイッチ要素と、この挿入部側熱スイッチ要素に対して前記コールドヘッドの挿入方向と平行な方向に対向するように前記被冷却体に配置される被冷却体側熱スイッチ要素と、を有し、両スイッチ要素が前記コールドヘッドの挿入方向と平行な方向に相対変位することにより、互いに接触して前記コールドヘッド挿入部の底部と前記被冷却体との間の熱伝導を許容するオン状態と、互いに離間して前記コールドヘッド挿入部の底部と前記被冷却体との間の熱伝導を許容するオフ状態と、に切換えられる、極低温装置。
IPC (2)：
F25B 9/00 ,  H01L 39/04
FI (2)：
F25B9/00 H ,  H01L39/04
F-Term (10)：
4M114AA02 ,  4M114AA31 ,  4M114CC03 ,  4M114CC15 ,  4M114CC16 ,  4M114CC18 ,  4M114DA02 ,  4M114DA07 ,  4M114DA12 ,  4M114DA32
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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