原子間力顕微鏡及びそのカンチレバー支持具

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：大野聖二 , 森田耕司 , 田中玲子 , 加藤真司
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2010126027
Publication number (International publication number)：2011252764
Patent number：5633089
Application date： Jun. 01, 2010
Publication date： Dec. 15, 2011
Claim (excerpt)：

【請求項1】探針を有するカンチレバーを備え、前記カンチレバーと試料との試料面方向の相対位置を変えながら、前記カンチレバーと試料との間の原子間力によって生ずる相互作用量が一定となるように、試料面に対する前記カンチレバーの高さ方向の位置を制御することで、試料の表面の情報を取得する原子間力顕微鏡であって、さらに、前記カンチレバーを支持するカンチレバー支持具と、前記高さ方向を駆動方向として前記カンチレバー支持具を振動させる、一つのZスキャナとを備え、前記一つのZスキャナによって振動される前記カンチレバー支持具は、前記Zスキャナの駆動方向に直交する方向に突出したカンチレバー取付部と、前記カンチレバー取付部の突出方向と反対方向に突出したバランス突出部を有していることを特徴とする原子間力顕微鏡。

IPC (2)：

G01Q 60/24 ( 201 0.01) , G01Q 70/02 ( 201 0.01)

FI (2)：

G01Q 60/24 , G01Q 70/02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

プローブホルダ及び走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-095150 Applicant：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

Cited by examiner (1)

プローブホルダ及び走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-095150 Applicant：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

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