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J-GLOBAL ID：201403036762565609

青色発光部材の製造方法

Inventor： 花泉 修 ,  三浦 健太 ,  吉川 正人 ,  山本 春也 ,  杉本 雅樹
Applicant, Patent owner： 国立大学法人群馬大学 ,  独立行政法人日本原子力研究開発機構
Agent (4)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2007080148
Publication number (International publication number)：2008244005
Patent number：5331961
Application date： Mar. 26, 2007
Publication date： Oct. 09, 2008
Claim (excerpt)：

【請求項1】 水晶又は溶融石英部材に対し、所定の照射条件でSiイオンを注入し、前記Siイオン注入後、酸素含有雰囲気下において1150°C〜1250°Cで所定時間アニール処理を施すことにより、青色光を発する部材を製造することを特徴とする青色発光部材の製造方法。

IPC (3)：

H01L 33/26 ( 201 0.01) ,  C09K 11/08 ( 200 6.01) ,  C09K 11/59 ( 200 6.01)

FI (3)：

H01L 33/00 180 ,  C09K 11/08 A ,  C09K 11/59

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 発光素子およびその製造方法ならびに蛍光体基板とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-156412   Applicant：松下電器産業株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• イオンビームによる石英ガラス、シリコン熱酸化膜中のナノサイズシリコン微粒子形成とその物性