光陰極高周波電子銃、および光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：牛木護 , 吉田正義 , 今枝弘充 , 梅村裕明 , 小合宗一 , 高橋知之
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2010140546
Publication number (International publication number)：2012004069
Patent number：5544598
Application date： Jun. 21, 2010
Publication date： Jan. 05, 2012
Claim (excerpt)：

【請求項1】カソード部と、前記カソード部にレーザー光を照射するレーザー照射口と、前記カソード部から放出された電子を加速する加速空胴部と、前記加速空胴部の内部に高周波を導入する高周波導入部とを備える光陰極高周波電子銃において、前記加速空胴部は、二以上の基本セルと、前記基本セル同士の間に設けられる基本アイリスと、前記基本セルの出口に最終アイリスを挟んで連通された最終セルとを有し、前記基本アイリスは、前記基本セルのうち終端に設けられた出口セルと、当該出口セルと隣り合う他の基本セルの間に配置された、後方アイリスを含み、前記最終アイリスの厚さは、前記後方アイリスの厚さと異なり、前記後方アイリスの厚さより薄く形成されていることを特徴とする光陰極高周波電子銃。

IPC (3)：

H01J 37/073 ( 200 6.01) , H05H 7/08 ( 200 6.01) , H05H 7/18 ( 200 6.01)

FI (3)：

H01J 37/073 , H05H 7/08 , H05H 7/18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

高周波電子銃
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-180072 Applicant：川崎重工業株式会社
特開昭63-213299
特開平3-261056

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