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J-GLOBAL ID:201403045965064825
Siクラスレートの製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
特許業務法人広江アソシエイツ特許事務所
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2011091814
Publication number (International publication number):2012224488
Patent number:5626896
Application date: Apr. 18, 2011
Publication date: Nov. 15, 2012
Claim (excerpt):
【請求項1】 Siクラスレートの製造方法であって、
シリコンウエハとNaとを混合して650°C以上の温度で加熱して、SiとNaとからなる化合物を生成する陽圧加熱処理工程と、
前記陽圧加熱処理工程によって生成されたSiとNaとからなる前記化合物を、10-2Pa以下の陰圧下で300°C以上450°C以下の温度により1時間以上加熱する陰圧加熱処理工程と、
を備えており、
前記陽圧加熱処理工程が、0.5時間以上24時間以下の加熱時間で行われることを特徴とするSiクラスレートの製造方法。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
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クラスレート化合物薄膜の作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-147359
Applicant:日本電気株式会社
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クラスレート化合物およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-342101
Applicant:日本電気株式会社
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