Pat
J-GLOBAL ID:201403046137310614
グラフィンのn-ドーピング方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
龍華国際特許業務法人
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2013556556
Publication number (International publication number):2014518827
Application date: Mar. 02, 2012
Publication date: Aug. 07, 2014
Summary:
本願は、基材上に炭素ソースを含む反応ガス及び熱を提供して反応させることで、前記基材上にグラフィンを成長させる段階;及び、n-型ドーパントを含むドーピング溶液、またはn-型ドーパントを含む蒸気により、前記グラフィンをn-ドーピングする段階;を含む、グラフィンのn-ドーピング方法、これによって製造されるn-ドーピングされたグラフィン、及び前記n-ドーピングされたグラフィンを含む素子を提供する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
基材上に炭素ソースを含む反応ガス及び熱を提供して反応させることで、前記基材上にグラフィンを成長させる段階と、
n-型ドーパントを含むドーピング溶液、またはn-型ドーパントを含む蒸気により、前記グラフィンをn-ドーピングする段階と
を含む、グラフィンのn-ドーピング方法。
IPC (9):
C01B 31/02
, H01L 29/868
, H01L 29/861
, H01L 29/06
, H01L 51/05
, H01L 51/30
, H01L 21/205
, H01L 21/223
, H01L 21/228
FI (9):
C01B31/02 101Z
, H01L29/91 F
, H01L29/06 601N
, H01L29/28 100A
, H01L29/28 220A
, H01L29/28 250E
, H01L21/205
, H01L21/223 Z
, H01L21/228
F-Term (15):
4G146AA01
, 4G146AB07
, 4G146AC16B
, 4G146AC30B
, 4G146AD30
, 4G146BC09
, 4G146CB11
, 4G146CB12
, 4G146CB13
, 4G146CB19
, 4G146CB32
, 4G146CB34
, 4G146CB35
, 5F045AB07
, 5F045AC19
Patent cited by the Patent:
Article cited by the Patent:
Return to Previous Page