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J-GLOBAL ID:201403046137310614

グラフィンのn-ドーピング方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 龍華国際特許業務法人
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2013556556
Publication number (International publication number):2014518827
Application date: Mar. 02, 2012
Publication date: Aug. 07, 2014
Summary:
本願は、基材上に炭素ソースを含む反応ガス及び熱を提供して反応させることで、前記基材上にグラフィンを成長させる段階;及び、n-型ドーパントを含むドーピング溶液、またはn-型ドーパントを含む蒸気により、前記グラフィンをn-ドーピングする段階;を含む、グラフィンのn-ドーピング方法、これによって製造されるn-ドーピングされたグラフィン、及び前記n-ドーピングされたグラフィンを含む素子を提供する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
基材上に炭素ソースを含む反応ガス及び熱を提供して反応させることで、前記基材上にグラフィンを成長させる段階と、 n-型ドーパントを含むドーピング溶液、またはn-型ドーパントを含む蒸気により、前記グラフィンをn-ドーピングする段階と を含む、グラフィンのn-ドーピング方法。
IPC (9):
C01B 31/02 ,  H01L 29/868 ,  H01L 29/861 ,  H01L 29/06 ,  H01L 51/05 ,  H01L 51/30 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/223 ,  H01L 21/228
FI (9):
C01B31/02 101Z ,  H01L29/91 F ,  H01L29/06 601N ,  H01L29/28 100A ,  H01L29/28 220A ,  H01L29/28 250E ,  H01L21/205 ,  H01L21/223 Z ,  H01L21/228
F-Term (15):
4G146AA01 ,  4G146AB07 ,  4G146AC16B ,  4G146AC30B ,  4G146AD30 ,  4G146BC09 ,  4G146CB11 ,  4G146CB12 ,  4G146CB13 ,  4G146CB19 ,  4G146CB32 ,  4G146CB34 ,  4G146CB35 ,  5F045AB07 ,  5F045AC19
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
Article cited by the Patent:
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