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J-GLOBAL ID:201403048450348714

光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5): 大野 聖二 ,  小林 英了 ,  加藤 真司 ,  鈴木 守 ,  大谷 寛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2013157044
Publication number (International publication number):2014003306
Application date: Jul. 29, 2013
Publication date: Jan. 09, 2014
Summary:
【課題】光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成することのできる照明光学装置を提供する。【解決手段】照明光学装置は、入射光束に基づいて所定面に輪帯状の光強度分布を形成するための光束変換素子50を備えている。光束変換素子は、旋光性を有する光学材料により形成されて、入射光束に基づいて輪帯状の光強度分布のうちの第1円弧状領域分布を形成するための第1基本素子50Aと、第2円弧状領域分布を形成するための第2基本素子50Bと、第3円弧状領域分布を形成するための第3基本素子50Cと、第4円弧状領域分布を形成するための第4基本素子50Dとにより構成されている。各基本素子は光の透過方向に沿った厚さが互いに異なる。【選択図】図11
Claim (excerpt):
マスク上のパターンを照明光により照明する照明光学装置であって、 前記照明光の光路に配置されたオプティカルインテグレータと、 旋光性を有する光学材料で形成され、前記オプティカルインテグレータの入射側における前記光路に配置されて、前記照明光の偏光状態を変化させる偏光部材と、 を備え、 前記偏光部材を介した前記照明光は、当該照明光学装置の瞳面を介して前記パターンに照射されることを特徴とする照明光学装置。
IPC (2):
H01L 21/027 ,  G03F 7/20
FI (2):
H01L21/30 515D ,  G03F7/20 502
F-Term (6):
2H097BB01 ,  2H097LA10 ,  2H097LA11 ,  5F146CB13 ,  5F146CB15 ,  5F146CB42
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (9)
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