Pat
J-GLOBAL ID:201403071485847421
照明光学装置、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5):
大野 聖二
, 小林 英了
, 加藤 真司
, 鈴木 守
, 大谷 寛
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2013157042
Publication number (International publication number):2014003305
Application date: Jul. 29, 2013
Publication date: Jan. 09, 2014
Summary:
【課題】マスク上のパターンを照明光により照明する照明光学装置であって、光量損失を良好に抑えつつ、周方向偏光状態の輪帯状の照明瞳分布を形成する照明光学装置を提供する。【解決手段】照明光の光路に配置されたオプティカルインテグレータと、旋光性を有する光学材料で形成され、オプティカルインテグレータの入射側における光路に配置されて、照明光の偏光状態を変化させる偏光部材4と、を備え、偏光部材4を介した照明光は、当該照明光学装置の瞳面を介してパターンに照射される。【選択図】図1
Claim (excerpt):
マスク上のパターンを照明光により照明する照明光学装置であって、
前記照明光の光路に配置されたオプティカルインテグレータと、
旋光性を有する光学材料で形成され、前記オプティカルインテグレータの入射側における前記光路に配置されて、前記照明光の偏光状態を変化させる偏光部材と、
を備え、
前記偏光部材を介した前記照明光は、当該照明光学装置の瞳面を介して前記パターンに照射されることを特徴とする照明光学装置。
IPC (3):
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G02B 19/00
FI (4):
H01L21/30 515D
, H01L21/30 527
, G03F7/20 521
, G02B19/00
F-Term (10):
2H052BA02
, 2H052BA03
, 2H052BA12
, 5F146BA03
, 5F146CB11
, 5F146CB12
, 5F146CB13
, 5F146CB15
, 5F146CB43
, 5F146DA01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
-
投影露光装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-201649
Applicant:株式会社ニコン
-
投影露光装置及び露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-263521
Applicant:株式会社ニコン
-
光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-094216
Applicant:株式会社ニコン
-
露光装置および露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-345162
Applicant:日本電気株式会社
-
特許第4976015号
-
特許第4976094号
-
光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2013-157044
Applicant:株式会社ニコン
-
光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2011-144669
Applicant:株式会社ニコン
Show all
Return to Previous Page