Pat
J-GLOBAL ID：201403063780656783
酸化物結晶薄膜の製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
SK特許業務法人
, 奥野 彰彦
, 伊藤 寛之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013118358
Publication number (International publication number)：2014234337
Application date： Jun. 04, 2013
Publication date： Dec. 15, 2014
Summary：
【課題】炭素不純物濃度の低減と高い成膜速度を両立させることができ、かつ安定的な結晶構造の作り分けを可能にする薄膜製造方法を提供する【解決手段】本発明によれば、ガリウム化合物とインジウム化合物の少なくとも一方と水とを含む原料溶液を微粒子化して生成される原料微粒子を成膜室に供給する工程を備え、前記ガリウム化合物とインジウム化合物の少なくとも一方は、臭化物又はヨウ化物である、酸化物結晶薄膜の製造方法が提供される。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
ガリウム化合物とインジウム化合物の少なくとも一方と水とを含む原料溶液を微粒子化して生成される原料微粒子を成膜室に供給する工程を備え、前記ガリウム化合物とインジウム化合物の少なくとも一方は、臭化物又はヨウ化物である、酸化物結晶薄膜の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (8)：
4G077AA03
, 4G077AB10
, 4G077BB01
, 4G077BB10
, 4G077CB08
, 4G077EC01
, 4G077HA06
, 4G077HA12
Cited by applicant (3)
Cited by examiner (3)
Article cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
Cited by examiner (3)
Return to Previous Page
