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J-GLOBAL ID:201403070299021894

透過電子顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): ポレール特許業務法人
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2013098298
Publication number (International publication number):2014220105
Application date: May. 08, 2013
Publication date: Nov. 20, 2014
Summary:
【課題】球面収差が補正された対物レンズ磁場中に試料を置く観察と、球面収差が補正された対物レンズ磁場の外に試料を置くローレンツ観察を両立し、かつローレンツ観察の空間分解能を高めることのできる透過電子顕微鏡を提供する。【解決手段】球面収差補正器を備えた透過電子顕微鏡において、第1対物レンズ107の上流側には第1試料ホルダ106bが配置され、第2対物レンズ109の上流側には偏向器105が、第2対物レンズの内部には第2試料ホルダ108bが配置される。【選択図】図4
Claim (excerpt):
電子源と、対物レンズと、前記対物レンズの球面収差を補正する収差補正器とを備えた透過電子顕微鏡であって、 前記対物レンズは、前記電子源と前記収差補正器との間に配置された第1対物レンズと第2対物レンズとを含み、 前記第1対物レンズの上流側には第1試料を保持する第1試料ホルダが配置され、 前記第2対物レンズの上流側には偏向器が、前記第2対物レンズの磁場内となる領域には第2試料を保持する第2試料ホルダが配置されることを特徴とする透過電子顕微鏡。
IPC (2):
H01J 37/26 ,  H01J 37/153
FI (2):
H01J37/26 ,  H01J37/153 A
F-Term (4):
5C033HH05 ,  5C033SS02 ,  5C033SS03 ,  5C033SS10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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