前方磁界を結像レンズとして用いる電子線観察装置および試料観察方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：井上学 , 戸田裕二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008033945
Publication number (International publication number)：2009193833
Application date： Feb. 15, 2008
Publication date： Aug. 27, 2009
Summary：

【課題】電子顕微鏡に用いられる電磁レンズの中で最も重要な役割を担う対物レンズは、大きな励磁電流によって短い焦点距離を実現し、高い空間分解能を発揮する。その反面、寸法計測に用いた場合には、磁気的ヒステリシスが原因で結像条件の再現性が不十分であり、200から2000倍程度の低倍率での観察も困難であった。また、試料を対物レンズ内に生じた磁場中に配置するため、試料は常に磁場に浸漬された状態で観察されていた。【解決手段】試料が通常の観察時に配置される対物レンズ内に加え、この位置に1/5から1/30の倍率で像を転写するような、対物レンズ外の電子線進行方向の上流側にも試料を配置する機構を設ける。【選択図】図7

Claim (excerpt)：

電子線の光源と、前記光源から放出される電子線を試料に照射するための照射光学系と、励磁コイルと磁路と磁極片から構成される前記試料の像を結像するための対物レンズと、前記試料像を拡大し、観察するためレンズ系と、前記対物レンズより電子線進行方向の上流側に配置された、前記光源の光軸上に試料を載置するための第一の試料保持装置の挿入用の第一のポートと、磁極片の間に試料を載置するための第二の試料保持装置の挿入用の第二のポートと、を有し、前記対物レンズにより発生する、前記第二の試料保持装置の試料載置面より電子線進行方向の上流側の磁場によって、前記第一の試料保持装置に載置された試料の像を、倍率が1/30乃至1/5となるように前記第二の試料保持装置の試料載置面内に結像することが可能となるように、前記第一の試料保持装置と前記第二の試料保持装置が配置されていることを特徴とする電子線観察装置。

IPC (2)：

H01J 37/26 , H01J 37/20

FI (2)：

H01J37/26 , H01J37/20 C

F-Term (5)：

5C001AA05 , 5C001CC03 , 5C033SS01 , 5C033SS02 , 5C033SS03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

荷電粒子線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-310187 Applicant：株式会社日立製作所
電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-069577 Applicant：株式会社日立製作所
特開昭52-026153

Show all

Return to Previous Page