Pat
J-GLOBAL ID：200903022706115470
荷電粒子装置の球面収差を補正する収差補正装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008064717
Publication number (International publication number)：2009224067
Application date： Mar. 13, 2008
Publication date： Oct. 01, 2009
Summary：
【課題】長焦点用収差補正機能と短焦点用収差補正機能の両方の機能を実現できる収差補正の構成を提供する。【解決手段】2つの多極子レンズの間に2つの回転対称レンズを配置するという従来の収差補正装置の構成を有しつつ、対物レンズと多極子レンズの間には従来2つの回転対称レンズを配置していたものを3つの回転対称レンズを配置する。対物レンズの焦点距離が長い状態で使用する場合は対物レンズと多極子レンズの間に配置した3つの回転対称レンズのうち、2つを使用することで収差を補正する。また、高分解能観察など、対物レンズの焦点距離が短い状態で使用する場合には対物レンズと多極子レンズの間の3つの回転対称レンズのうち、長焦点の場合とは異なる組み合わせの2つの回転対称レンズを使用することで収差を補正する。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
荷電粒子線装置における対物レンズの収差を補正するための収差補正装置であって、
前記対物レンズ側に配置された第1の多極子レンズと、
投影レンズ側に配置された第2の多極子レンズと、
前記第1及び第2の多極子レンズ間に配置され、前記対物レンズのコマフリー条件を前記第2の多極子レンズに転写するための第1の転写レンズ群と、
前記第1の多極子レンズと前記対物レンズ間に配置され、前記対物レンズのコマフリー条件を前記第1の多極子レンズに転写するための第2の転写レンズ群と、を備え、
前記第2の転写レンズ群は3つの回転対称レンズを含み、前記対物レンズから近い順に第1、第2、及び第3の回転対称レンズと定義した場合、前記第3の回転対称レンズと前記第1の回転対称レンズの組み合せ、及び前記第3の回転対称レンズと前記第2の回転対称レンズの組み合せを切り換えながら用いて、前記対物レンズの焦点が前記対物レンズの内部と外部にある場合の前記対物レンズの収差補正を可能とする収差補正装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (1)：
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (3)
Return to Previous Page
