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J-GLOBAL ID：201403073277796158
堆積装置および堆積方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
芳村 武彦
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2008297384
Publication number (International publication number)：2009203546
Patent number：5408819
Application date： Nov. 20, 2008
Publication date： Sep. 10, 2009
Claim (excerpt)：
【請求項1】 第1の原料ガスを導入する導入部と、前記導入部から導入された前記第1の原料ガスから反応熱を伴った反応性ガスを生成する触媒を収容する触媒容器と、前記触媒容器から前記反応性ガスを噴出する反応性ガス噴出部とを含む触媒反応装置;
前記反応性ガス噴出部から噴出した反応性ガスのうち、直進方向からずれた部分を側方へと流出させるための構造を有する反応性ガス分離器;
基板を支持する基板支持部;および
前記反応性ガス分離器を通り抜けた前記反応性ガスと反応して前記基板に膜を堆積させる第2の原料ガスを供給する供給部;
を備える堆積装置。
IPC (4)：
C23C 16/452 ( 200 6.01)
, B01J 23/42 ( 200 6.01)
, C01G 9/02 ( 200 6.01)
, H01L 21/205 ( 200 6.01)
C23C 16/452
, B01J 23/42 M
, C01G 9/02
, H01L 21/205
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (2)
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