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J-GLOBAL ID：201403090279643563

多層カーボンナノチューブの集合構造の評価方法

Inventor： 平尾 孝 ,  古田 守 ,  古田 寛 ,  川原村 敏幸 ,  小向 拓治 ,  下元 温 ,  吉原 久美子
Applicant, Patent owner： ニッタ株式会社 ,  公立大学法人高知工科大学
Agent (1)： 岡田 和秀
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2010094102
Publication number (International publication number)：2011215119
Patent number：5580102
Application date： Apr. 15, 2010
Publication date： Oct. 27, 2011
Claim (excerpt)：

【請求項1】 基板上に配置した複数の多層CNTの集合構造を評価する方法であって、 上記集合構造の外側面の一部分にX線を入射する第1ステップと、 上記第1ステップで入射された前記X線が上記集合構造の外側面の上記一部分とは異なる複数の別部分から出射されるX線強度を当該複数の別部分それぞれに対応する複数の検出位置で測定する第2ステップと、 上記各検出位置でのX線強度からX線強度のピーク面積を演算する第3ステップと、 X線を上記集合構造の高さ方向に走査し、各走査位置で当該集合構造から出射されるX線強度を測定する第4ステップと、 上記第4ステップで測定したX線強度から当該X線強度減衰量を演算する第5ステップと 上記第3ステップで演算したピーク面積と、上記第5ステップで演算した減衰量とから上記集合構造内多層CNTの配向性を解析する第6ステップと、 を含むことを特徴とする多層CNT集合構造の評価方法。

IPC (3)：

G01N 23/207 ( 200 6.01) ,  C01B 31/02 ( 200 6.01) ,  G01N 23/06 ( 200 6.01)

FI (3)：

G01N 23/207 ,  C01B 31/02 101 F ,  G01N 23/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 多孔質酸化チタン被覆炭素材料組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2009-146518   Applicant：大阪瓦斯株式会社
• 長周期規則構造体の構造検査方法および検査装置および長周期規則構造体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-340464   Applicant：キヤノン株式会社
• X線回折測定方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-093333   Applicant：理学電機株式会社
• 膜厚測定方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-019783   Applicant：株式会社リガク

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• X-ray diffraction characterization on the alignment degree of carbon nanotubes