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J-GLOBAL ID：201502220763079970   Reference number：15A0847112

ALD-Al₂O₃に埋め込まれた多結晶シリコンナノワイヤーの光音響分光による研究=シリコンをナノワイヤー化したときの光音響特性の変化=

Author (4)： MIYAZAKI HISASHI (防衛大) ,  MORIMOTO JUN (防衛大) ,  MIYAJIMA SHINSUKE (東京工大) ,  KATO SHIN'YA (科学技術振興機構)
Material： 超音波Techno  (超音波テクノ)
Volume： 27  Issue： 4  Page： 61-65  Publication year： Aug. 01, 2015 
JST Material Number： L2344A  ISSN： 0916-2410  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： photo-acoustic effect ,  monoatomic layer ,  chemical vapor deposition ,  aluminum oxide ,  *polysilicon ,  *nanowire ,  *photoacoustic spectroscopy ,  solar cell ,  lithography ,  amorphous silicon ,  X-ray diffraction ,  Raman scattering

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (8)： ALD ,  Al2O3 ,  多結晶シリコン ,  ナノワイヤー ,  光音響分光 ,  研究 ,  シリコン ,  音響特性