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J-GLOBAL ID：201502240789137684   Reference number：15A0363396

SEM,TEMを用いたメゾスコピック材料のための試料作製法-FIB,大気下ピックアップ法の応用-

Author (4)： SUZUKI TOSHIAKI (日本電子) ,  NAKAJIMA KAORI (日本電子) ,  NISHIOKA HIDEO (日本電子) ,  MOTOHASHI MITSUYA (東京電機大 工)
Material： 材料の科学と工学  (Materials Science and Technology of Japan)
Volume： 52  Issue： 1  Page： 6-9  Publication year： Feb. 20, 2015 
JST Material Number： G0788A  ISSN： 1347-4774  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Microscopy ,  scanning electron microscope ,  transmission electron microscope ,  *mesoscopic system ,  *sample preparation ,  *focused ion beam ,  heating ,  manipulator ,  phase transition ,  alloying ,  *micro structure ,  phase constitution ,  robot ,  modification
Semi thesaurus term： FIB(beam) ,  SEM (microscope) ,  TEM (microscope) ,  sample preparation

JST classification (1)： Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Reference (8)：

• 鈴木:FIBの諸特性と試料作製への応用,JEOL Application Note IB01
• 鈴木,遠藤,奥西,久芳:日本電子ニュース,Vol.35 No.1 p.20 (2003)
• 中嶌,森田,新美,三平,鈴木:ぶれいず 第48巻 119号 p.38 (2014)
• Y. Takahshi, H. Kondo, H. Niimi, T. Nokuo and T. Suzuki: Sensors and Actuators A 206, p.81 (2014)
• 鈴木,高橋:まてりあ 第51巻 第12号 p.545 (2012)

Terms in the title (7)： SEM ,  TEM ,  試料作製 ,  FIB ,  大気 ,  ピックアップ ,  応用