赤外線用バンドパスフィルタ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：森哲也 , 田中秀▲てつ▼
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013225483
Publication number (International publication number)：2015087526
Application date： Oct. 30, 2013
Publication date： May. 07, 2015
Summary：

【課題】赤外線領域における特定の波長の光に対して高い選択性を保ちつつ、高い透過率で透過させる赤外線用バンドパスフィルタを提供すること。【解決手段】赤外線用バンドパスフィルタは、半導体基板と、前記半導体基板上に形成され、膜厚方向に貫通した開口部が一定の繰り返し単位で設けられた格子配列を有し、該開口部の繰り返し単位の全面積に対する該開口部の面積比率が10%以上26%未満である金属層と、前記金属層上に形成された誘電体層とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

半導体基板と前記半導体基板上に形成され、膜厚方向に貫通した開口部が一定の繰り返し単位で設けられた格子配列を有し、該開口部の繰り返し単位の全面積に対する該開口部の面積比率が10%以上26%未満である金属層と、前記金属層上に形成された誘電体層とを備えることを特徴とする赤外線用バンドパスフィルタ。

IPC (1)：

G02B 5/20

FI (1)：

G02B5/20

F-Term (3)：

2H148AA07 , 2H148AA12 , 2H148AA22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

固体撮像装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2010-054032 Applicant：株式会社東芝
光学フィルタ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-118978 Applicant：キヤノン株式会社
特に多重チャンネルの周波数選択的測定のための光学的バンドパスフィルタシステム
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2013-518986 Applicant：フラウンホッファー-ゲゼルシャフトツァフェルダールングデァアンゲヴァンテンフォアシュンクエー.ファオ

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