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J-GLOBAL ID：201503068919258094
エネルギー分析器の軸合わせ方法及び装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
西澤 利夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2011017142
Publication number (International publication number)：2012160261
Patent number：5711552
Application date： Jan. 28, 2011
Publication date： Aug. 23, 2012
Claim (excerpt)：
【請求項1】 エネルギー偏向器を備え、1次ビームを試料に照射し発生する2次電子を検出することにより試料の観察を行うエネルギー分析器の軸と1次ビームの軸とを3次元的に軸合わせするための方法であって、
試料を3次元的(x方向、y方向、z方向)に移動可能な試料ステージに載置し、
エネルギー偏向器の直前に、スリットを備えた2次電子捕集器を設け、
エネルギー偏向器の直前に設けた2次電子捕集器のスリットから特定の信号電子を通過させ、エネルギー偏向器を通して出射した特定の信号電子の前記スペクトル強度Ispectrを検出するとともに、2次電子捕集器により2次電子を捕集し、2次電子強度Isを検出し、特定の信号電子のスペクトル強度Ispectrと2次電子の強度との比Ispectr/Isを算出し、x-y平面で1次ビームを移動させ、前記の算出法によりx-y平面における位置に対する強度比Ispectr/Isの曲線を得て、ピーク位置を求めるとともに、試料をz方向に移動させ、前記の算出法によりz方向の位置に対する強度比Ispectr/Isの曲線を得て、ピーク位置を求め、
x-y平面における前記ピーク位置とz方向における前記ピーク位置を最適点とすることを特徴とするエネルギー分析器の軸合わせ方法。
IPC (4)：
H01J 49/44 ( 200 6.01)
, H01J 49/48 ( 200 6.01)
, H01J 37/244 ( 200 6.01)
, H01J 37/04 ( 200 6.01)
H01J 49/44
, H01J 49/48
, H01J 37/244
, H01J 37/04 B
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