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J-GLOBAL ID：201602213729477943   Reference number：16A0930977

多結晶Ga添加ZnO透明導電膜の表面吸着子に与える酸素負イオン照射の効果

Author (14)： NOMOTO JUN'ICHI (高知工科大 総研) ,  MAKINO HISAO (高知工科大 総研) ,  MAKINO HISAO (高知工科大 システム工) ,  KITAMI HISASHI (高知工科大 総研) ,  KITAMI HISASHI (住友重機械工業) ,  SAKEMI TOSHIYUKI (住友重機械工業) ,  KOBATA MASAAKI (原子力機構 廃炉国際共同研究セ) ,  OKANE TETSUO (原子力機構 物質科学研究セ) ,  FUJIMORI SHIN'ICHI (原子力機構 物質科学研究セ) ,  YAMAGAMI HIROSHI (原子力機構 物質科学研究セ) ,  YAMAGAMI HIROSHI (京都産大) ,  KOBAYASHI KEISUKE (高知工科大 総研) ,  KOBAYASHI KEISUKE (原子力機構 物質科学研究セ) ,  YAMAMOTO TETSUYA (高知工科大 総研)
Material： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
Volume： 77th  Page： ROMBUNNO.15a-A22-2  Publication year： Sep. 01, 2016 
JST Material Number： Y0055B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *transparent conducting thin films ,  *zinc oxide ,  polycrystal ,  gallium ,  doping ,  additive effect ,  adsorption ,  adsorption equilibrium ,  surface reaction ,  anion ,  ion irradiation ,  oxygen ,  plasma CVD
Semi thesaurus term： surface adsorption ,  negative-ion

JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (7)： 多結晶 ,  Ga ,  ZnO ,  透明導電膜 ,  表面吸着 ,  酸素 ,  負イオン