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J-GLOBAL ID：201602216520487310   Reference number：16A0090488

High-energy H₂O beam produced by a Pt-catalyzed H₂-O₂ reaction for the metal oxide film deposition

金属酸化物薄膜堆積のための触媒反応生成高エネルギーH₂Oビーム

Author (6)： TERAGUCHI YUSUKE (長岡技科大) ,  TAJIMA RYOICHI (長岡技科大) ,  NAKAMURA TOMOKI (長岡技科大) ,  TAKAHASHI KAZUMASA (長岡技科大) ,  TAMAYAMA YASUHIRO (長岡技科大) ,  YASUI KANJI (長岡技科大)
Material： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
Volume： 115  Issue： 297(CPM2015 83-102)  Page： 75-79  Publication year： Oct. 30, 2015 
JST Material Number： S0532B  ISSN： 0913-5685  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *zinc oxide ,  catalytic reaction ,  Laval nozzle ,  cluster ,  X-Ray Diffraction ,  Hall effect ,  chemical vapor deposition ,  *thin film growth ,  *ZnO film
Semi thesaurus term： *ZnO thin film ,  CVD

JST classification (1)： Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Terms in the title (6)： 金属酸化物薄膜 ,  堆積 ,  触媒反応 ,  エネルギー ,  H2O ,  ビーム