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J-GLOBAL ID：201602264945728020   Reference number：16A1319056

Transition metal complex reaction etching with neutral beam and its mechanism investigated by first-principles calculation

第一原理計算により研究した中性粒子ビームとその機構との遷移金属錯体反応エッチング【Powered by NICT】

Author (3)： Kubota Tomohiro (Institute of Fluid Science, Tohoku University, Miyagi, Japan) ,  Kikuchi Yoshiyuki (Taiwa Regional Office, Tokyo Electron Limited, Miyagi, Japan) ,  Samukawa Seiji (Institute of Fluid Science, Tohoku University, Miyagi, Japan)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2016  Issue： NANO  Page： 937-940  Publication year： 2016 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： Mechanism of a recently report...

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Thesaurus term： Oxygen ,  tantalum oxide ,  *transition metal complex ,  hydride transfer ,  Argon ,  Tantalum ,  *etching ,  shock (mechanics) ,  *transition metal ,  low temperature ,  density functional method ,  *neutral beam ,  metal surface ,  *ab initio calculation ,  *beam ,  aliphatic alcohol

JST classification (2)： Acoustic signal processing  (BB03050C) ,  System identification  (IA02040O)

Substance index (1)： Ethanol

Terms in the title (5)： 第一原理計算 ,  研究 ,  中性粒子ビーム ,  遷移金属錯体 ,  エッチング