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J-GLOBAL ID：201101056558989400   Update date: Jan. 17, 2024

Kubota Tomohiro

クボタ トモヒロ | Kubota Tomohiro
Homepage URL  (1)： http://db.tohoku.ac.jp/whois/detail/c5d6507608b6abc1528f063c02cf133e.html
Research field  (5)： Electric/electronic material engineering ,  Nano/micro-systems ,  Applied physics - general ,  Nanobioscience ,  Nanomaterials
Research keywords  (6)： 半導体微細加工 ,  プラズマ・ビーム測定 ,  プラズマ・ビーム表面化学反応 ,  semiconductor microfabrication ,  measurement of plsama and beam ,  surface chemical reaction by plasma and beam
Research theme for competitive and other funds  (7)：
  • 2014 - 第一原理理論計算と表面解析によるプラズマ・ビーム表面反応プロセスの機構解明
  • 2014 - Study on plasma/beam surface reaction mechanisms based on first-principles theoretical calculation and surface analysis
  • 2011 - オンウェハモニタリングとシミュレーションの融合によるエッチング形状・ダメージ予測システムの開発
  • 2011 - Development of plasma etching and damage prediction system by combination of on-wafer monitoring and simulation
  • 1997 - 2008 バイオナノプロセスによるシリコンナノ構造作製と解析
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MISC (128)：
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Patents (8)：
  • 測定ユニット、中性粒子ビームの測定装置および中性粒子ビームの測定システム
  • ナノドットの作製方法
  • エッチング方法
  • 有機半導体薄膜及び有機半導体薄膜の配向制御方法
  • 測定ユニット、中性粒子ビームの測定装置および中性粒子ビームの測定システム
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Lectures and oral presentations  (328)：
  • 中性粒子ビーム励起錯体反応による遷移金属エッチングメカニズムのTight-binding量子分子動力学法を用いた検討
    (第63回 応用物理学会春季学術講演会 2016)
  • 中性粒子ビーム励起錯体反応を用いた遷移金属エッチングにおける吸着分子の影響
    (第63回 応用物理学会春季学術講演会 2016)
  • Mask less neutral beam texturing to make nano holes on micro pyramids; broadband optical light trapping in thin wafer based Si (<100 μm) solar cells
    (第63回 応用物理学会春季学術講演会 2016)
  • 中性粒子ビーム励起錯体反応による遷移金属エッチングメカニズムのTight-binding量子分子動力学法を用いた検討
    (第63回 応用物理学会春季学術講演会 2016)
  • 中性粒子ビーム励起錯体反応を用いた遷移金属エッチングにおける吸着分子の影響
    (第63回 応用物理学会春季学術講演会 2016)
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Works (6)：
  • さりげないセンシングと日常人間ドックで実現する理想自己と家族の絆が導くモチベーション向上社会創生拠点
    2013 - 2016
  • さりげないセンシングと日常人間ドックで実現する理想自己と家族の絆が導くモチベーション向上社会創生拠点
    2013 - 2016
  • 次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発
    2012 - 2015
  • 次世代超低損傷微細加工プロセス用大口径中性粒子ビーム源の開発
    2012 - 2015
  • 最先端電池基盤技術コンソーシアム
    2013 -
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Education (4)：
  • - 1999 Osaka University
  • - 1999 Osaka University Graduate School, Division of Engineering Science
  • - 1995 Osaka University School of Engineering Science Direct Affiliates
  • - 1995 Osaka University Faculty of Engineering Science
Professional career (1)：
  • 博士(理学) (大阪大学)
Work history (15)：
  • 2009 - 2011 The University of Tokyo Institute of Industrial Science
  • 2009 - 2011 Institute of Industrial Science, The University of Tokyo Project Lecturer
  • 2011 - - 東北大学流体科学研究所 准教授
  • 2011 - - Institute of Fluid Science, Tohoku University Associate Professor
  • 2007 - 2009 Tohoku University Institute of Fluid Science
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Committee career (24)：
  • 2014 - 2015 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員
  • 2014 - 2015 第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員
  • 2013 - 2014 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員
  • 2013 - 2014 第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員
  • 2012 - 2014 2014 IEEE International Nanoelectronics Conference 実行委員
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Association Membership(s) (32)：
第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  電気学会センサ・マイクロマシン部門(E部門)平成23年度総合研究会 ,  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 ,  第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  2014 IEEE International Nanoelectronics Conference ,  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing ,  第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  The 16th IEEE International Conference on Nanotechnology ,  日本物理学会 ,  日本化学会 ,  American Vacuum Society ,  応用物理学会 ,  第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  第27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  電気学会センサ・マイクロマシン部門(E部門)平成23年度総合研究会 ,  第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 ,  第29回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  2014 IEEE International Nanoelectronics Conference ,  第31回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing ,  第32回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム ,  The 16th IEEE International Conference on Nanotechnology ,  The Physical Society of Japan ,  The Chemical Society of Japan ,  American Vacuum Society ,  The Japan Society of Applied Physics
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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