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J-GLOBAL ID：201603001252822159

送液方法、送液システム、及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体

Inventor： 佐々 卓志 ,  橋本 克也 ,  柴田 大樹 ,  大戸 剛
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (4)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  柏岡 潤二 ,  松澤 寿昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014216461
Publication number (International publication number)：2016084719
Application date： Oct. 23, 2014
Publication date： May. 19, 2016
Summary：

【課題】簡素な構成で液体の移送を可能とする。【解決手段】送液方法は、弾性を有するチューブの外側を覆うチューブ用筐体とチューブの外表面との間の内部空間に充填された気体の圧力に応じてチューブ内に液体を流通させる工程と、チューブ内を流通する液体の圧力の大きさを第1の値として取得する工程と、内部空間に充填された気体の圧力の大きさを第2の値として取得する工程と、第1の値と第2の値との差を第3の値として算出する工程と、第3の値に基づいてチューブの状態を検知する工程とを含む。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

弾性を有するチューブの外側を覆うチューブ用筐体と前記チューブの外表面との間の内部空間に充填された気体の圧力に応じて前記チューブ内に液体を流通させる工程と、 前記チューブ内を流通する液体の圧力の大きさを第1の値として取得する工程と、 前記内部空間に充填された気体の圧力の大きさを第2の値として取得する工程と、 前記第1の値と前記第2の値との差を第3の値として算出する工程と、 前記第3の値に基づいて前記チューブの状態を検知する工程とを含む、送液方法。

IPC (1)：

F04B 43/12

FI (1)：

F04B43/12 T

F-Term (10)：

3H077AA01 ,  3H077CC04 ,  3H077CC10 ,  3H077DD14 ,  3H077EE05 ,  3H077EE32 ,  3H077EE37 ,  3H077FF03 ,  3H077FF45 ,  3H077FF57

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• チューブポンプ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-351451   Applicant：株式会社イワキ
• 流体を滴下させる装置と、この方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2003-532398   Applicant：エフエスアイインターナショナル
• 流体作動式ポンプ
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2004-523648   Applicant：ダヴテック・プロプライエタリー・リミテッド