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J-GLOBAL ID：201603006395941380

光周波数コムを使ったレーザ周波数測定方法及び装置

Inventor： 川▲崎▼ 和彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Agent (3)： 高矢 諭 ,  松山 圭佑 ,  牧野 剛博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014141965
Publication number (International publication number)：2016017892
Application date： Jul. 10, 2014
Publication date： Feb. 01, 2016
Summary：

【課題】周波数変動が大きく安定度の低いレーザの周波数を測定可能とする。【解決手段】測定の基準となる光周波数コム100と測定対象となるレーザ150を干渉させて発生するビート信号の周波数を測定して、前記レーザ150の周波数を測定する、光周波数コム100を使ったレーザ周波数測定において、前記ビート信号の周波数が所定の値になるように、前記光周波数コム100の繰り返し周波数frepとCEO周波数fCEOの少なくとも一方を変化させ、前記ビート信号の周波数を測定して、前記レーザ150の発振周波数を測定する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

測定の基準となる光周波数コムと測定対象となるレーザを干渉させて発生するビート信号の周波数を測定して、前記レーザの周波数を測定する、光周波数コムを使ったレーザ周波数測定方法において、 前記ビート信号の周波数が所定の値になるように、前記光周波数コムの繰り返し周波数frepとCEO周波数fCEOの少なくとも一方を変化させ、前記ビート信号の周波数を測定して、前記レーザの発振周波数を測定することを特徴とする、光周波数コムを使ったレーザ周波数測定方法。

IPC (3)：

G01R 23/10 ,  G01R 23/14 ,  H01S 3/00

FI (3)：

G01R23/10 H ,  G01R23/14 C ,  H01S3/00 G

F-Term (9)：

2G029AA04 ,  2G029AB05 ,  2G029AC03 ,  2G029AC08 ,  2G029AD01 ,  2G029AF07 ,  2G029AH01 ,  5F172NP04 ,  5F172NP18

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• レーザ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-214330   Applicant：株式会社ミツトヨ
• 光周波数コム発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-077442   Applicant：住友電気工業株式会社, 独立行政法人産業技術総合研究所
• 光周波数測定装置及び光周波数測定方法
  Gazette classification：再公表公報   Application number：JP2004017962   Applicant：株式会社アドバンテスト

Cited by examiner (3)

• レーザ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2011-214330   Applicant：株式会社ミツトヨ
• 光周波数コム発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-077442   Applicant：住友電気工業株式会社, 独立行政法人産業技術総合研究所
• 光周波数測定装置及び光周波数測定方法
  Gazette classification：再公表公報   Application number：JP2004017962   Applicant：株式会社アドバンテスト