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J-GLOBAL ID：201603010878345025

散乱波計算システム

Inventor： 杉坂 純一郎 ,  谷田貝 豊彦
Applicant, Patent owner： 国立大学法人北見工業大学
Agent (1)： 山田 毅彦
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012014403
Publication number (International publication number)：2013156030
Patent number：6009768
Application date： Jan. 26, 2012
Publication date： Aug. 15, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】 電磁波を入射させた場合に生じる散乱波によって形成される電磁界の計算対象となる誘電体の領域を、基準領域と、それぞれ前記誘電体の一部又は空間で構成され、かつ互いに交差しない複数の有限領域であって前記誘電体の領域と前記基準領域との差分に対応する前記複数の有限領域とを合成した領域として表す構造特定部と、 前記基準領域に前記複数の有限領域を複数回に分けて順次追加し、追加された各有限領域によってそれぞれ生じる電磁界を当該有限領域に対応する境界要素を積分経路とする積分方程式を解くことによって計算し、前記基準領域によって形成される電磁界に前記追加された各有限領域によってそれぞれ生じる電磁界を順次加算する計算によって前記誘電体に前記電磁波を入射させた場合に生じる散乱波によって形成される電磁界を求める電磁界計算部と、 を有する散乱波計算システム。

IPC (2)：

G01R 29/08 ( 200 6.01) ,  G06F 17/50 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01R 29/08 Z ,  G06F 17/50 612 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 情報処理装置及び情報処理方法並びにプログラム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2004-069485   Applicant：キヤノン株式会社
• 電磁場シミュレーション方法、電磁場シミュレーション装置、半導体装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2010-068450   Applicant：株式会社東芝
• 波動解析方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-162565   Applicant：富士通株式会社
• リソグラフィシミュレーション方法及びプログラム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-075481   Applicant：株式会社東芝