画像生成装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：杉本勝徳 , 岡田充浩
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2014236358
Publication number (International publication number)：2016099227
Application date： Nov. 21, 2014
Publication date： May. 30, 2016
Summary：

【課題】検査対象物の内部構造を可視化して、検査対処物中に存在する異物等を表示した画像を得ることができる画像生成装置を提供する。【解決手段】画像生成装置100は、検査光を検査対象物に照射する光源1、検査対象物を透過した光を受光して画像データを生成する受像器2、光源1と検査対象物との間の光路上に配置され、検査光を直線偏光させる第1の偏光子4、検査対象物と受像器2との間の光路上に配置され、透過光を直線偏光させる第2の偏光子5、および第1の偏光子4の透過軸と第2の偏光子5の透過軸とのなす相対角を変更可能な偏光方向制御手段とを備えている。画像生成装置100は、受像器2を用いて相対角が小さい第1画像と相対角が大きい第2画像を撮像すると共に、この第1画像と第2画像を用いて検査対象物の内部構造を可視化して、検査対象物中に存在する異物等を表示した画像を得る。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

検査光を検査対象物に照射する光源と、前記検査対象物を透過した透過光および散乱光を受光して画像データを生成する受像器と、前記光源と前記検査対象物との間の光路上に配置され、前記検査光を直線偏光させる第1の偏光子と、前記検査対象物と前記受像器との間の光路上に配置され、前記透過光を直線偏光させる第2の偏光子と、前記第1の偏光子の透過軸と前記第2の偏光子の透過軸とのなす相対角を変更可能な偏光方向制御手段と、を備え、前記受像器を用いて相対角が小さい第1画像と相対角が大きい第2画像とを撮像すると共に、当該第1画像および第2画像を用いて前記検査対象物の内部構造を可視化して、検査対象物中に存在する検知対象を表示した画像を得ることを特徴とする画像生成装置。

IPC (1)：

G01N 21/89

FI (1)：

G01N21/89 H

F-Term (12)：

2G051AA28 , 2G051AA40 , 2G051AA41 , 2G051BA05 , 2G051BA06 , 2G051BA11 , 2G051CA03 , 2G051CB02 , 2G051CC07 , 2G051CD05 , 2G051EA08 , 2G051EA16

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

透明体検査装置および透明体検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-259976 Applicant：旭硝子株式会社
シリコン基板の検査装置および検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2011-049434 Applicant：三菱電機株式会社
ボイド検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-011088 Applicant：株式会社フジクラ

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Cited by examiner (5)

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