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J-GLOBAL ID:201603018323669748

電子デバイスおよび電子デバイスの作製方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 荒船 博司 ,  荒船 良男 ,  赤澤 高 ,  稲葉 龍治
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2011050552
Publication number (International publication number):2012190840
Patent number:5900872
Application date: Mar. 08, 2011
Publication date: Oct. 04, 2012
Claim (excerpt):
【請求項1】 半導体基板と、前記半導体基板上に設けられた金属細線とを備え、 前記金属細線は、局所的に結晶構造が単結晶である領域を備え、前記領域にナノオーダのギャップが形成されている電子デバイス。
IPC (3):
H01L 29/06 ( 200 6.01) ,  B82B 1/00 ( 200 6.01) ,  B82B 3/00 ( 200 6.01)
FI (3):
H01L 29/06 601 N ,  B82B 1/00 ,  B82B 3/00
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)

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