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J-GLOBAL ID：201702231440875949   Reference number：17A0864772

微細構造を利用したサブマイクロメートル印刷技術の開発

Author (4)： HOKARI RYOHEI (産業技術総合研) ,  KURIHARA KAZUMA (産業技術総合研) ,  TAKADA NAOKI (産業技術総合研) ,  HIROSHIMA HIROSHI (産業技術総合研)
Material： 日本機械学会関東支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM)
Volume： 23rd  Page： ROMBUNNO.OS1302-04  Publication year： Mar. 15, 2017 
JST Material Number： L3954B  ISSN： 2424-2691  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micro structure ,  Technology ,  *capillary force ,  *patterning (transcription) ,  compression forming ,  groove ,  metal ,  ink ,  filling ,  optical property ,  spectrum ,  optical element ,  *printing technique ,  microtrench ,  transmission spectrum
Semi thesaurus term： *nanoimprint ,  optical characteristics ,  optical device

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Printing technology in general  (ZA05010T)

Terms in the title (3)： 微細構造 ,  サブ ,  開発