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J-GLOBAL ID：201702247259092130   Reference number：17A1366977

Effect of Sulfur to Molybdenum Composition Ratio on Friction and Wear Characteristics in Air of Sputtered Molybdenum Disulfide Films

二硫化モリブデンスパッタ膜の大気中における摩擦摩耗特性に及ぼす硫黄対モリブデン組成比の影響

Author (5)： MATSUZAKI KAZUNARI (九州工業大学 大学院工学府 機械知能工学専攻) ,  SASAKI IWAO (九州工業大学 大学院生命体工学研究科 生体機能応用工学専攻) ,  SUNAHARA KENJI (福岡工業大学 工学部 知能機械工学科) ,  IKEDA MICHIAKI (池田技術士事務所) ,  MATSUDA KENJI (九州工業大学 大学院工学研究院 機械知能工学研究系)
Material： 材料  (Journal of the Society of Materials Science, Japan)
Volume： 66  Issue： 9  Page： 675-681(J-STAGE)  Publication year： 2017 
JST Material Number： F0385A  ISSN： 0514-5163  CODEN： ZARYA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *molybdenum sulfide ,  stainless steel ,  *sputtering ,  friction coefficient ,  wear characteristics ,  sulfur ,  molybdenum ,  multilayer film ,  roller ,  roller bearing
Semi thesaurus term： *molybdenum disulfide ,  SUS 440C ,  lubrication property ,  composition ratio ,  cross roller bearing ,  *friction property

Author keywords (7)： Molybdenum disulfide ,  Solid lubricant ,  Wear life ,  Friction coefficient ,  Sputtered film ,  S/Mo ratio ,  Bilayer film

JST classification (1)： Lubrication in general  (QB02010S)

Reference (21)：

• 1) M. Suzuki, “Tribology of space equipment”, Journal of the Japan Society of Precision Engineering, Vol.67, No.12, pp.1933-1936 (2001).
• 2) E. Zenpo, S. Sato, S. Nobayashi, T. Noguchi and M. Ryu, “8 inch Wafer vacuum transportation system", Yaskawa Technical Review, Vol.62, No.2, pp.67-73 (1998).
• 3) K. Matsumoto and M. Suzuki, “Influence of oxygen and water vapor in operating environment on wear life of an MoS₂ film”, Proc. Int. Trib. Conf., Yokohama, pp.1165-1169 (1995).
• 4) M. Maillat, C. Monoud, H. E. Hintermann and J. F. Patin, “Tribological properties of PVD-applied MoS₂ coatings used on space mechanisms”, Proc.4 Euro. Symp. SpaceMech. and Trib. Symp., ESA SP-299, pp.53-57 (1990).
• 5) A. J. Haltner and C. S. Oliver, “Effect of water vapor on the friction of molybdenum disulfide”, I & EC Fundamentals, Vol.5, No.3, pp.348-355 (1966).

Terms in the title (7)： 二硫化モリブデン ,  スパッタ膜 ,  大気中 ,  摩擦摩耗特性 ,  硫黄 ,  モリブデン ,  組成比