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J-GLOBAL ID：201702247681025458   Reference number：17A1619550

3D-shape Measurement of a Step-like Rough Surface under Temperature Rising by using Wavelength Shift Interferometer

波長シフト干渉計を用いた昇温下での段差を持つ粗面の3次元形状計測

Author (1)： ADACHI MASAAKI (金沢大学 ベンチャービジネスラボラトリー)
Material： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
Volume： 83  Issue： 10  Page： 949-955(J-STAGE)  Publication year： 2017 
JST Material Number： U0462A  ISSN： 1882-675X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *machine element ,  *three dimension ,  *shape measurement ,  stepped shape ,  *rough surface ,  *speckle interferometry ,  phase (topology) ,  phase shift ,  interferometer ,  *warming
Semi thesaurus term： random phase ,  interferogram ,  wavelength shift

Author keywords (10)： 3D shape measurement ,  rough surface ,  speckle interferometer ,  phase extraction ,  temperature rising ,  3D shape measurement ,  rough surface ,  speckle interferometer ,  phase extraction ,  temperature rising

JST classification (2)： Machine elements in general  (QB01010L) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O)

Reference (10)：

• 1) 吉澤徹編, 三次元光学1-光三次元計測, 新技術コミュニケーションズ, (1998).
• 2) J.S.Massa, G.S.Buller, A.C.Walker, S.Cova, M.Umasuthan, and A.M.Wallance, Time-of-flight optical ranging system based on time-correlated single-photon counting, Appl.Opt.,37,31(1998) 7298.
• 3) Jesse Zheng, Optical frequency-modulated continuous-wave interferometers, Appl.Opt.,45,12(2006) 2723.
• 4) 安達, 佐々木, 光路差がランダムに変動する状況下での波長シフト干渉計を用いた粗面の3次元形状計測, 精密工学会誌, 82, 4 (2016) 384.
• 5) M.Adachi, S.Sunada, Phase-shift extraction from twice-normalized light intensity changes recorded with random phase shifts, Optical Review, 21, 5 (2014) 522.

Terms in the title (6)： 波長シフト ,  干渉計 ,  昇温 ,  段差 ,  粗面 ,  3次元形状計測