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J-GLOBAL ID：201702280417173555   Reference number：17A0547697

水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性

Author (8)： SHIROI TOMOHIRO (香川高専) ,  YAMAMOTO MASASHI (香川高専) ,  NAGAOKA SHIRO (香川高専) ,  SHIKAMA TOMOKAZU (香川高専) ,  UMEMOTO HIRONOBU (静大) ,  ODAIRA KEISUKE (北陸先端科学技術大学院大) ,  NISHIYAMA TAKASHI (大阪市大) ,  HORIBE HIDEO (大阪市大)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 64th  Page： ROMBUNNO.14p-316-5  Publication year： Mar. 01, 2017 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2758-4704  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *radical ,  Hydrogen ,  *pressure effect ,  velocity ,  *resist ,  hydrogen radical
Semi thesaurus term： pressure dependence ,  removal velocity

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： 水素ラジカル ,  レジスト ,  除去速度 ,  圧力依存性