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J-GLOBAL ID：201702284893973215   Reference number：17A0543218

P(VDF/TrFE)薄膜を用いたMEMS超音波アレイセンサ

Author (5)： TANAKA TSUNEHISA (大阪府産業技総研) ,  MURAKAMI SHUICHI (大阪府産業技総研) ,  UNO MAYUMI (大阪府産業技総研) ,  SATO KAZUO (大阪府産業技総研) ,  YAMASHITA KAORU (京都工繊大)
Material： 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan (CD-ROM))
Volume： 2017  Page： ROMBUNNO.3-122  Publication year： Mar. 05, 2017 
JST Material Number： S0653B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： sensor array ,  *acoustic array ,  *acoustic wave sensor ,  sensor ,  MEMS ,  thin film ,  poly(vinylidene fluoride-trifluoroethylene) Copolymer ,  phosphorus compound

JST classification (2)： Acoustic signal processing  (BB03050C) ,  Measuring instruments in general  (AD02000X)

Terms in the title (4)： VDF ,  薄膜 ,  MEMS ,  超音波アレイ