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J-GLOBAL ID:201703000155941870
熱電変換素子およびその製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (3):
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 加藤 隆夫
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2013556145
Patent number:6086071
Application date: Feb. 01, 2012
Claim (excerpt):
【請求項1】 STO基板と、
前記STO基板上に形成され、ペロブスカイト構造の化合物よりなる薄膜と、
前記STO基板上に設けられ、前記薄膜の上面に第1の領域においてコンタクトする第1の電極と、
前記薄膜の上面に前記第1の領域から離間した第2の領域においてコンタクトする第2の電極と、
前記薄膜を、前記第1の領域において加熱または冷却する第1の加熱または冷却部と、
前記薄膜を、前記第2の領域において加熱または冷却する第2の加熱または冷却部と、
を含み、
前記第2の加熱または冷却部は、前記第1の加熱または冷却部が前記薄膜の前記第1の領域を加熱する場合に前記薄膜の前記第2の領域を冷却し、
前記第2の加熱または冷却部は、前記第1の加熱または冷却部が前記薄膜の前記第1の領域を冷却する場合に前記薄膜の前記第2の領域を加熱し、
前記薄膜中には、前記ペロブスカイト構造の化合物を構成する結晶中に、前記結晶とは異なる結晶方位の領域が複数形成されており、
前記薄膜は(001)面方位のSrTiO3の薄膜であり、前記複数の領域は、(031)面方位を有するドメインであって、
前記薄膜は、Nbを25原子%の割合で含むことを特徴とする熱電変換素子。
IPC (6):
H01L 35/22 ( 200 6.01)
, H01L 35/34 ( 200 6.01)
, C23C 14/08 ( 200 6.01)
, H01L 35/26 ( 200 6.01)
, C01G 23/00 ( 200 6.01)
, C04B 35/46 ( 200 6.01)
FI (6):
H01L 35/22
, H01L 35/34
, C23C 14/08 K
, H01L 35/26
, C01G 23/00 C
, C04B 35/46
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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熱電変換モジュールの製造方法及び熱電変換モジュール
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2009-006677
Applicant:住友化学株式会社
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異方的熱電材料とこれを用いた放射検出器および発電デバイス
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2010-115988
Applicant:パナソニック株式会社
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強誘電体薄膜およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-039802
Applicant:ティーディーケイ株式会社
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結晶成長用基板とこれを用いた結晶成長方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2007-230370
Applicant:独立行政法人物質・材料研究機構
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Article cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (4)