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J-GLOBAL ID：201703000664611145
バイプリズム装置、及び荷電粒子線装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
ポレール特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015251027
Publication number (International publication number)：2017117612
Application date： Dec. 24, 2015
Publication date： Jun. 29, 2017
Summary：
【課題】コンタミネーションが付着したとき、付着物の部分で局所チャージアップが発生して、バイプリズム装置の利用を妨げる。【解決手段】回転型バイプリズム装置において、フィラメント電極91を設置するフィラメントホルダーを2つの座電極83、84からなる構成とし、一方の座電極84に突起部86を備えることによって、バイプリズム装置として利用する際は、電源95に接続された接触電極81を介してフィラメント電極91に電位が印加される状態と、フィラメント電極を通電加熱により清浄化する際には、突起部を備えた座電極84が装置に直結した接触電極82に接触することによってフィラメント電極を含む閉回路が形成され、フィラメント電極が通電により加熱されて、付着したコンタミネーションが除去される状態を取ることを可能とする。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
バイプリズム装置であって、
荷電粒子線装置の光軸に直交するフィラメントと、
前記光軸と前記フィラメントの両方に直交する軸を法線とする平面を持ち、前記フィラメントを挟んで配置される一対の平行平板電極と、
前記フィラメントの両端がそれぞれ固定され、互いに絶縁部で絶縁された第1の座電極と第2の座電極を有し、前記光軸と平行な軸を回転軸として回転するフィラメントホルダーと、
電源に接続される第1の接触電極と、
第2の接触電極と、を備え、
前記フィラメントホルダーの前記回転により、前記第1の座電極と前記第2の座電極の少なくともどちらか1つが前記第1の接触電極と接触する状態、或いは前記第1の座電極が前記第1の接触電極と接触し、前記第2の座電極が前記第2の接触電極と接触する状態を取りうる、
ことを特徴とするバイプリズム装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)
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電子線バイプリズム装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2000-147818
Applicant：日本電子株式会社
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電子線干渉装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平9-196749
Applicant：株式会社日立製作所
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特開平4-014744
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