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J-GLOBAL ID：201703005491826703

表面観測用試料冷却装置及び表面観測装置

Inventor： 鈴木 拓 ,  菱田 俊一
Applicant, Patent owner： 国立研究開発法人物質・材料研究機構
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013154298
Publication number (International publication number)：2015025592
Patent number：6164733
Application date： Jul. 25, 2013
Publication date： Feb. 05, 2015
Claim (excerpt)：

【請求項1】 筒状の熱シールドと、 前記筒内に配置された伝熱棒と、 前記伝熱棒に取り付けられた高熱伝導性電気絶縁板と、 前記高熱伝導性電気絶縁板に試料ホルダー押さえ込み板により押さえ込まれた試料ホルダーと、 前記熱シールドに設けられた開閉部と、 前記開閉部に設けられた2つのビーム孔とを有し、 前記高熱伝導性電気絶縁板に孔部が設けられており、前記孔部内にフィラメントが設けられていることを特徴とする表面観測用試料冷却装置。

IPC (3)：

F25B 9/14 ( 200 6.01) ,  H01J 37/20 ( 200 6.01) ,  G01N 23/225 ( 200 6.01)

FI (3)：

F25B 9/14 530 Z ,  H01J 37/20 E ,  G01N 23/225

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 試料冷却装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-312435   Applicant：日本電子株式会社
• 荷電粒子線露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-167606   Applicant：株式会社ニコン
• 試料冷却装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2007-101158   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所