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J-GLOBAL ID:201703006134000305

X線回折装置を用いた表面硬さ評価方法およびX線回折測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2014165625
Publication number (International publication number):2016042050
Patent number:6055970
Application date: Aug. 18, 2014
Publication date: Mar. 31, 2016
Claim (excerpt):
【請求項1】 対象とする測定対象物に向けてX線を出射するX線出射器と、 前記X線出射器から前記測定対象物に向けてX線を照射して、前記測定対象物にて発生したX線の回折光を、前記X線出射器から出射されるX線の光軸に対して垂直に交差する撮像面にて受光し、前記撮像面に前記X線の回折光の像である回折環を形成する回折環形成手段とを備えたX線回折装置を用いた測定対象物の表面硬さ評価方法において、 前記回折環形成手段により回折環を形成する回折環形成ステップと、 前記回折環形成ステップにより形成された回折環におけるX線の回折光の強度に相当する強度の分布を検出する回折環強度分布検出ステップと、 前記回折環強度分布検出ステップにより検出された強度分布に基づいて、前記回折環の半径方向における強度分布に基づく幅である回折環幅を前記回折環の複数の箇所で算出し、前記回折環幅の前記回折環の円周方向に対する変化曲線を算出する回折環幅変化曲線計算ステップと、 前記回折環幅変化曲線計算ステップにより算出された回折環幅の変化曲線から、前記回折環幅の平均値を算出する回折環幅平均ステップと、 前記回折環幅平均ステップにより得られた回折環幅の平均値と、予め取得されている前記回折環幅と表面硬さの関係とを用いて測定対象物の表面硬さを算出する表面硬さ計算ステップとを行うことを特徴とする測定対象物の表面硬さ評価方法。
IPC (1):
G01N 23/205 ( 200 6.01)
FI (1):
G01N 23/205
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (2)

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