摺動部材およびその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (4)：平木祐輔 , 関谷三男 , 石川滝治 , 美馬保彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2015148058
Publication number (International publication number)：2017025396
Application date： Jul. 27, 2015
Publication date： Feb. 02, 2017
Summary：

【課題】潤滑油が存在する高荷重条件下でも、摺動部材の摺動面に形成された非晶質炭素皮膜の摩耗量と摩擦係数を低減することができる摺動部材の製造方法の提供。【解決手段】フィルタードアークデポジション法により基材11の表面に窒素を含有した非晶質炭素皮膜(CNx)12を蒸着させる摺動部材10の製造方法において、窒素を含有した非晶質炭素皮膜12の窒素含有量が2〜11原子%となるように、基材11の表面に向けてマイクロ波イオン源41を用いて窒素イオンビームB2を照射しながら窒素を含有した非晶質炭素皮膜12を形成し、非晶質炭素皮膜12の表面硬度が25〜80GPaである摺動部材10の製造方法。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基材の表面に窒素を含有した非晶質炭素皮膜が形成され、該非晶質炭素皮膜の表面を摺動面として、該摺動面に潤滑油が存在する環境下で摺動する摺動部材の製造方法であって、前記非晶質炭素皮膜の窒素含有量が2〜11原子%となるように、前記基材の表面に向けて窒素イオンビームを照射しながら、フィルタードアークデポジション法により基材の表面に炭素を蒸着させることにより、前記窒素を含有した非晶質炭素皮膜を成膜することを特徴とする摺動部材の製造方法。

IPC (5)：

C23C 14/06 , C23C 14/24 , C23C 14/48 , F16C 33/14 , F16C 33/12

FI (5)：

C23C14/06 F , C23C14/24 F , C23C14/48 D , F16C33/14 Z , F16C33/12 A

F-Term (17)：

3J011AA10 , 3J011DA01 , 3J011DA02 , 3J011JA02 , 3J011LA04 , 3J011MA02 , 3J011QA04 , 3J011SE02 , 4K029AA02 , 4K029BA34 , 4K029BC02 , 4K029BD04 , 4K029CA03 , 4K029CA09 , 4K029DB02 , 4K029DD06 , 4K029DE02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

摺動部品およびそれを用いた機械装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2010-246143 Applicant：株式会社日立製作所
非晶質硬質炭素膜及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-121047 Applicant：株式会社ゼクセル
摺動部材、その製造方法、及び摺動方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2009-062601 Applicant：トヨタ自動車株式会社, 国立大学法人名古屋大学

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