複合硬質炭素膜及びその製造方法並びに摺動部材

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：大川宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007173168
Publication number (International publication number)：2009013192
Application date： Jun. 29, 2007
Publication date： Jan. 22, 2009
Summary：

【課題】窒化炭素膜の摩擦初期におけるなじみ特性を良好にして、摩擦初期の極力早い段階から超低摩擦状態を達成する。【解決手段】本発明に係る複合硬質炭素膜20は、基材10上に形成された窒化炭素膜21と、この窒化炭素膜21上に形成されたカーボンコーティング膜22とから構成されている。カーボンコーティング膜22の膜厚は1〜500nmであることが好ましく、2〜4nmであることがより好ましい。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基材上に形成された窒化炭素膜と、前記窒化炭素膜上に形成されたカーボンコーティング膜と、を備えていることを特徴とする複合硬質炭素膜。

IPC (1)：

C10M 103/02

FI (2)：

C10M103/02 , C10M103/02 Z

F-Term (7)：

4H104AA04A , 4H104AA17A , 4H104EA01Z , 4H104LA03 , 4H104PA01 , 4H104PA41 , 4H104QA15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

摺動装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-256094 Applicant：オイレス工業株式会社, 梅原徳次

Cited by examiner (2)

摺動装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-256094 Applicant：オイレス工業株式会社, 梅原徳次
耐摩耗性部材およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-178080 Applicant：三菱重工業株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

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