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J-GLOBAL ID：201802215361661569   Reference number：18A0932019

Noncontact evaluation for interface states by photocarrier counting

光キャリア計数による界面状態の非接触評価

Author (6)： FURUTA Masaaki (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN) ,  SHIMIZU Kojiro (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN) ,  MAETA Takahiro (GlobalWafers Japan Co., Ltd., Niigata, JPN) ,  MIYASHITA Moriya (GlobalWafers Japan Co., Ltd., Niigata, JPN) ,  IZUNOME Koji (GlobalWafers Japan Co., Ltd., Niigata, JPN) ,  KUBOTA Hiroshi (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics  (JJAP)
Volume： 57  Issue： 3  Page： 031301.1-031301.6  Publication year： Mar. 2018 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *carrier wave ,  optical pumping ,  *surface level ,  contactless measurement ,  *state density ,  spectrum ,  wafer ,  isolation (IC) ,  *interface state density ,  Si wafer
Semi thesaurus term： Si wafer ,  STI ,  interface state ,  *optical carrier ,  optical pumping ,  noncontact

JST classification (2)： Solar cell  (NC03084O) ,  Electronic structure of surfaces  (BM02080J)

Reference (29)：

• S. M. Sze, Semiconductor Devices: Physics and Technology (Wiley, New York, 2008) 3rd ed., p. 171.
• E. Simoen and C. Claeys, Mater. Sci. Eng. B 91-92, 136 (2002).
• P. C. Fazan and V. K. Mathews, IEDM Tech. Dig., 1993, p. 57.
• S. Inaba, M. Takahashi, Y. Okayama, A. Yagishita, F. Matsuoka, and H. Ishiuchi, Proc. Int. Symp. VLSI Technology and Circuits, 1997, p. 119.
• C. Y. Chan, Y. S. Lin, Y. C. Huang, S. S. Hsu, and Y. Z. Juang, IEEE Trans. Electron Devices 54, 3383 (2007).

Terms in the title (5)： 光キャリア ,  計数 ,  界面状態 ,  非接触 ,  評価