Art

J-GLOBAL ID：201802228032489516   Reference number：18A1789961

マルチフェーズプラズマ反応場-革新的な材料プロセス創製に向けて-

Author (3)： SAKAKIBARA NORITAKA (東大 大学院新領域創成科学研究科) ,  ITO TSUYOHITO (東大 大学院新領域創成科学研究科) ,  TERASHIMA KAZUO (東大 大学院新領域創成科学研究科)
Material： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
Volume： 94  Issue： 9  Page： 441-448  Publication year： Sep. 25, 2018 
JST Material Number： G0114A  ISSN： 0918-7928  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *reaction field ,  multiphase ,  condensation ,  colloid ,  dispersion ,  nanocluster ,  supercritical fluid ,  density ,  *plasma treatment ,  plasma ,  plasma CVD ,  environment ,  *plasma application ,  aliphatic alcohol ,  sulfonic acid ,  sodium compound ,  aliphatic carboxylic acid ,  carboxylate(ester)
Semi thesaurus term： *プラズマ反応場 ,  colloidal dispersion ,  density fluctuation ,  *plasma process ,  微小液滴プラズマ ,  microgravity environment

JST classification (1)： Applications of plasma  (BJ02110K)

Substance index (1)： DOSS-70

Reference (57)：

• T. Yoshida, Pure Appl. Chem. 66, 1223 (1994).
• M. Shigeta and A.B. Murphy, J. Phys D: Appl. Phys. 44, 174025 (2011).
• S. Stauss et al., Phys. Plasmas 22, 057103 (2015).
• S. Stauss et al., Plasma Sources Sci. Technol. 27, 023003 (2018).
• Q. Chen et al., J. Phys D: Appl. Phys. 48, 424005 (2015).

Terms in the title (3)： 反応場 ,  材料プロセス ,  創製