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J-GLOBAL ID：201802229436071513   Reference number：18A0504698

非蒸発ゲッタポンプ用St707スパッタ合金膜の熱活性化過程におけるPdの表面修飾の効果

Author (7)： MISHIMA AZUMA (成蹊大) ,  DEIE KODAI (成蹊大) ,  NAKANO TAKEO (成蹊大) ,  OYA KEI (成蹊大) ,  KIKUCHI TAKASHI (高エネルギー加速器研究機構) ,  MASE KAZUHIKO (高エネルギー加速器研究機構) ,  MASE KAZUHIKO (総合研究大学院大)
Material： 表面技術協会講演大会講演要旨集
Volume： 137th  Page： 111  Publication year： Mar. 02, 2018 
JST Material Number： Y0050A  ISSN： 0917-2947  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *gettering ,  zirconium base alloy ,  vanadium containing alloy ,  iron containing alloy ,  *metallic thin film ,  Palladium ,  surface modification ,  activation ,  thermal effect
Semi thesaurus term： *nonevaporable getter ,  heat activation

JST classification (2)： Metallic thin films  (BK14030T) ,  Vacuum production and techniques  (BA02020L)

Terms in the title (7)： 蒸発 ,  ゲッタポンプ ,  スパッタ ,  合金 ,  熱活性化過程 ,  PD ,  表面修飾