HVPE法で結晶成長したβ-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>ホモエピ膜の電気的評価

NAKANO YOSHITAKA

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J-GLOBAL ID：201802233953630970 Reference number：18A0633758

HVPE法で結晶成長したβ-Ga₂O₃ホモエピ膜の電気的評価

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Volume： 65th Page： ROMBUNNO.19p-P11-20 Publication year： Mar. 05, 2018
JST Material Number： Y0054B ISSN： 2436-7613 Document type： Proceedings
Article type：短報 Country of issue： Japan (JPN) Language： JAPANESE (JA)

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Oxide thin films

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HVPE法で結晶成長したβ-Ga2O3ホモエピ膜の電気的評価

HVPE法で結晶成長したβ-Ga₂O₃ホモエピ膜の電気的評価